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发明名称 PHOTORESIST STRIPPING COMPOSITION AND METHOD FOR STRIPPING A PHOTORESIST USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR0173090(B1) 申请公布日期 1999.03.20
申请号 KR19960042177 申请日期 1996.09.24
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO.,LTD 发明人 TANABE, MASAHITO;WAKIYA, KAZUMASA;KOBAYASHI, MASAKAZU;NAKAYAMA, TOSHIMASA
分类号 C11D7/32;C11D7/50;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):G03F7/42 主分类号 C11D7/32
代理机构 代理人
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