发明名称 GRATING STRUCTURE FOR FLOOR MATERIALS OF CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 KR0136230(Y1) 申请公布日期 1999.03.20
申请号 KR19960001168U 申请日期 1996.01.29
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JUNG, MOON-CHAE
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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