发明名称 Verfahren zum Herstellen einer lichtemittierenden Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE69411836(T2) 申请公布日期 1999.03.18
申请号 DE1994611836T 申请日期 1994.09.23
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YAMADA, MASATO, C/O HANDOTAI ISOBE KOJO, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP;SAKURAI, TADASHI, C/O HANDOTAI ISOBE KOJO, ANNAKA-SHI, GUNMA-KEN, JP
分类号 H01L33/30;H01L33/56;H01L33/62;(IPC1-7):H01L33/00;H01L31/18;H01L21/56;H01L23/31 主分类号 H01L33/30
代理机构 代理人
主权项
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