Vertical vaporizer for halide-free, silicon-containing compounds,申请号AU19950040541-传众专利搜索

发明名称	Vertical vaporizer for halide-free, silicon-containing compounds
摘要
申请公布号	AU703188(B2)	申请公布日期	1999.03.18
申请号	AU19950040541	申请日期	1995.12.20
申请人	CORNING INCORPORATED	发明人	RICHARD REED WILLIAMS
分类号	G02B6/00;B01D1/22;B01D3/06;C03B8/04;C03B19/14;C03B37/014;C03B37/018;C23C16/40;C23C16/448;(IPC1-7):C03B37/018;C03B37/012	主分类号	G02B6/00
代理机构		代理人
主权项
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