Verfahren zur Herstellung von Mikrominiatur-Bauteilen,申请号DE1993623381-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung von Mikrominiatur-Bauteilen
摘要
申请公布号	DE69323381(D1)	申请公布日期	1999.03.18
申请号	DE1993623381	申请日期	1993.08.24
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	FAN, LONG-SHEN, SAN JOSE, CALIFORNIA 95120, US;ZAPPE, HANS HELMUT, SAN JOSE, CALIFORNIA 95120, US
分类号	C23C28/00;B81B5/00;B81C99/00;G03F7/00;G03F7/11;G03F7/26;H01L21/306;H02N1/00;(IPC1-7):G03F7/00;G03F7/09	主分类号	C23C28/00
代理机构		代理人
主权项
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