| 申请人 |
MICROPARTS GESELLSCHAFT FUER MIKROSTRUKTURTECHNIK MBH, 44227 DORTMUND, DE |
发明人 |
UENAL, NEZIH, D-44227 DORTMUND, DE;PETERS, DR. RALF-PETER, D-51467 BERGISCH-GLADBACH, DE;BARTELS, DR. FRANK, D-45527 HATTINGEN, DE;REINECKE, DR. HOLGER, D-44287 DORTMUND, DE;NOEKER, FRIEDOLIN FRANZ, D-76133 KARLSRUHE, DE |
