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发明名称
METHOD FOR CHEMICAL SURFACE PASSIVATION FOR IN-SITU BULK LIFETIME MEASUREMENT OF SILICON SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号
EP0680662(B1)
申请公布日期
1999.03.17
申请号
EP19940902993
申请日期
1993.12.16
申请人
SEMILAB FELVEZETOE FIZIKAI LABORATORIUM RESZVENYTARSASAG
发明人
HORANYI, TAMAS;FERENCZI, GYOERGY
分类号
G01N22/00;H01L21/314;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
G01N22/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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