发明名称 METHOD FOR CHEMICAL SURFACE PASSIVATION FOR IN-SITU BULK LIFETIME MEASUREMENT OF SILICON SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 EP0680662(B1) 申请公布日期 1999.03.17
申请号 EP19940902993 申请日期 1993.12.16
申请人 SEMILAB FELVEZETOE FIZIKAI LABORATORIUM RESZVENYTARSASAG 发明人 HORANYI, TAMAS;FERENCZI, GYOERGY
分类号 G01N22/00;H01L21/314;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 G01N22/00
代理机构 代理人
主权项
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