发明名称
摘要
申请公布号 JP2872585(B2) 申请公布日期 1999.03.17
申请号 JP19940238605 申请日期 1994.09.07
申请人 EI TEI ANDO TEI CORP 发明人 IEHYUDA SUMUUHA
分类号 H01L29/78;H01L21/8238;H01L27/02;H01L27/092;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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