METHOD FOR FORMING COMPLEMENTARY WELL AND SELF-ALIGNING GROOVE BY SINGLE MASK,申请号JP19980182292-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR FORMING COMPLEMENTARY WELL AND SELF-ALIGNING GROOVE BY SINGLE MASK
摘要
申请公布号	JPH1174375(A)	申请公布日期	1999.03.16
申请号	JP19980182292	申请日期	1998.06.29
申请人	HARRIS CORP	发明人	FULLER ROBERT T
分类号	H01L21/265;H01L21/266;H01L21/308;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
主权项
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