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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1174269(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19970231181 申请日期 1997.08.27
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 HARA SEIJI
分类号 H01L21/31;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/8247;H01L23/522;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/306;H01L21/824 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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