| 发明名称 |
SUBSTRATE-TREATING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1174250(A) |
申请公布日期 |
1999.03.16 |
| 申请号 |
JP19980056952 |
申请日期 |
1998.03.09 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
CHEN JIAN;HSIEH PETER;ISH-SHALOM CARMEL;LAU WESLEY;PAPANU JAMES S;MAK STEVE S Y;RHOADES CHARLES S;SHIEH BRIAN;LATCHFORD IAN S;WILLIAMS KAREN A;YU-WANG VICTORIA |
| 分类号 |
C23F4/00;C23F11/02;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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