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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1174516(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19970233957 申请日期 1997.08.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOJIMA MANABU
分类号 H01L21/316;H01L21/76;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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