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发明名称 CHIP TRANSFER DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1174290(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19970232061 申请日期 1997.08.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ONIZUKA YASUTO
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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