| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR PART |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1174256(A) |
申请公布日期 |
1999.03.16 |
| 申请号 |
JP19980173599 |
申请日期 |
1998.06.19 |
| 申请人 |
ALCATEL ALSTHOM CO GENERAL ELECTRICITE |
发明人 |
STARCK CHRISTOPHE;LE GOUEZIGOU LIONEL |
| 分类号 |
C23F4/00;G01B11/06;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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