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发明名称 Positioning device, driving unit, and aligner equipped with the device
摘要
申请公布号 AU8747698(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 AU19980087476 申请日期 1998.08.20
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 KAZUYA ONO
分类号 G03F7/20;H01L21/68;H01L21/687;H02K7/09;H02K41/03;H02K41/035;H02N15/00;(IPC1-7):H02K41/03 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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