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摘要
申请公布号
JP2871324(B2)
申请公布日期
1999.03.17
申请号
JP19920219866
申请日期
1992.08.19
申请人
NIPPON DENKI KK
发明人
SASAKI TAICHI
分类号
H01L21/306;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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