发明名称
摘要
申请公布号 JP2871324(B2) 申请公布日期 1999.03.17
申请号 JP19920219866 申请日期 1992.08.19
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 SASAKI TAICHI
分类号 H01L21/306;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址