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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1174507(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19980093041 申请日期 1998.04.06
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MIZUSHIMA ICHIRO;ABE JUNKO;TSUNASHIMA YOSHITAKA
分类号 H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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