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发明名称 PROBER
摘要
申请公布号 JPH1174321(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19970231405 申请日期 1997.08.27
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 ARAMAKI EIJI
分类号 G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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