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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1174207(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19970235515 申请日期 1997.09.01
申请人 JAPAN RADIO CO LTD 发明人 TANIGUCHI TORU
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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