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发明名称 PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH1174168(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19970250019 申请日期 1997.08.29
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 SENBA NORIO;KITANO JUNICHI;KATANO TAKAYUKI
分类号 B01D46/00;H01L21/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 B01D46/00
代理机构 代理人
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