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发明名称 REFORMING METHOD OF OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH1174262(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19970234735 申请日期 1997.08.29
申请人 HITACHI LTD;KOBE STEEL LTD 发明人 OKAWA AKIRA;FUJIKAWA TAKAO;NARUKAWA YUTAKA;MASUOKA ITARU;SUZUKI KOHEI
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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