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发明名称
CONTACT EXPOSURE METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1172854(A)
申请公布日期
1999.03.16
申请号
JP19970327605
申请日期
1997.11.28
申请人
KONICA CORP
发明人
FUJITA KATSUJI
分类号
G03B27/20;G03F3/10;(IPC1-7):G03B27/20
主分类号
G03B27/20
代理机构
代理人
主权项
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