| 发明名称 |
WIRE-SAW CUTTING METHOD AND DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1174234(A) |
申请公布日期 |
1999.03.16 |
| 申请号 |
JP19970233778 |
申请日期 |
1997.08.29 |
| 申请人 |
SUPER SILICON KENKYUSHO:KK |
发明人 |
OISHI HIROSHI;ASAKAWA KEIICHIRO;MATSUZAKI JUNICHI |
| 分类号 |
B28D5/04;H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B28D5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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