发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1171671(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19970249509 申请日期 1997.08.28
申请人 ASAHI OPTICAL CO LTD 发明人 FUJII HIDEO
分类号 C23C14/24;C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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