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发明名称
ACTIVATION ANNEALING METHOD COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH1174210(A)
申请公布日期
1999.03.16
申请号
JP19970235516
申请日期
1997.09.01
申请人
JAPAN RADIO CO LTD
发明人
TANIGUCHI TORU
分类号
H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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