发明名称 METHOD FOR METAL LAYER FORMING ON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH1174223(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19970228406 申请日期 1997.08.25
申请人 CYPRESS SEMICONDUCTOR CORP 发明人 SAM GEHA
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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