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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1174215(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19970232587 申请日期 1997.08.28
申请人 SHARP CORP 发明人 KAIZE YASUYOSHI;ISHIGURO KENICHI;KUBOTA YASUSHI
分类号 H01L21/266;(IPC1-7):H01L21/266 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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