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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH1174538(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19980164991 申请日期 1998.06.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAOKA HIROAKI;HIRAI TAKEHIRO;HORI ATSUSHI;UEHARA TAKASHI;FUJIMOTO HIROMASA
分类号 H01L27/12;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
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