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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH1174358(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19970230838 申请日期 1997.08.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAMURA YAYOI
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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