| 发明名称 |
FILM THICKNESS MONITORING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1171673(A) |
申请公布日期 |
1999.03.16 |
| 申请号 |
JP19970233120 |
申请日期 |
1997.08.28 |
| 申请人 |
ASAHI OPTICAL CO LTD |
发明人 |
KATO MOTOKATSU;ARAKI KIYOSHI |
| 分类号 |
G01B7/06;C23C14/54;G01R27/26;(IPC1-7):C23C14/54 |
主分类号 |
G01B7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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