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发明名称 REDUCYION OF OVERHEAD TIME IN ION METAL PLASMA PROCESS
摘要
申请公布号 JPH1171666(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19980162731 申请日期 1998.05.07
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 NGAN KENNY KING-TAI
分类号 C23C14/24;C23C14/35;C23C14/56;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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