| 发明名称 |
SYSTEME DE CROISSANCE EPITAXIALE EN PHASE LIQUIDE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2736657(B1) |
申请公布日期 |
1999.03.12 |
| 申请号 |
FR19960008675 |
申请日期 |
1996.07.11 |
| 申请人 |
MURATA MANUFACTURING CO LTD |
发明人 |
SEKIJIMA TAKENORI;FUJII TAKASHI;FUJINO MASARU |
| 分类号 |
G02F1/09;C30B19/00;C30B19/06;C30B29/28;H01L21/208;H01S5/00;(IPC1-7):C30B19/06;C30B35/00 |
主分类号 |
G02F1/09 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
