| 主权项 |
1.一种搬运用机械手,系备有连接在从驱动源(42)接受动力之驱动轴(48)之第1臂(16)、经由接受上述驱动轴之动力的从动轴(68)而连接在上述第1臂之第2臂(18)、以及、连接在上述第2臂而用以支持被处理体之支持部(22)者;该搬运用机械手更进一步备有:分别安装在上述驱动轴及从动轴之第1带轮及第2带轮(72A,72B),上述第1带轮具有,固定在上述驱动轴内侧之轮毂(76),及分开间隔并包围上述轮毂,同时具有侧面开口(84)外侧之轴环(78);在上述轴环内固定成了对上述轮毂在转动方向调整位置之偏心环(88);架设在上述第1及第2带轮间之扁平带(74),上述扁平带绕在上述轴环之外周,同时通过上述侧面开口引进上述轴环内,而在上述轴环内环绕上述偏心环之外周;而对上述轮毂向转动方向调整上述偏心环之位置,便得以调整上述扁平带之拉力。2.如申请专利范围第1项之搬运用机械手,进一步备有,可装卸自如地安装在上述轮毂(76)与上述轴环(78)之间,用以将上述扁平带(74)挤压在上述偏心环(88)之皮带固定构件(96)。3.如申请专利范围第2项之搬运用机械手,上述偏心环(88)形成有沟(95),供上述皮带固定构件(96)将上述扁平带(74)挤进上述沟内。4.如申请专利范围第1项之搬运用机械手,在上述侧面开口(84)之缘部配设有引导上述扁平带(74)之梢(86)。5.如申请专利范围第1项之搬运用机械手,进一步备有,配设在上述驱动轴(48)与上述从动轴(68)之间,邻接于上述轴环(78)外侧之一对引导辊(98),上述一对引导辊间之距离较上述轴环之直径为小。6.一种搬运用机械手,系备有驱动马达(42),接受上述驱动马达之动力之驱动轴(48),因上述驱动轴之转动而旋转之臂(16),及连接在上述臂而用以支持被处理体之支持部(22);该运搬用机械手更进一步具备有:安装在上述驱动马达之输出轴(43)之第1齿轮(44);为了将上述驱动马达之动力传至上述驱动轴,啮合于上述第1齿轮且连接在上述驱动轴之第2齿轮(46);支持上述驱动马达,同时可连同上述驱动马达及上述第1齿轮一起接近或离开上述第2齿轮之支持臂(36);以及对上述支持臂赋与将上述第1齿轮推压在第2齿轮之弹力之弹簧(64);而藉上述弹簧所赋与之上述弹力,防止上述第1及第2齿轮间之齿隙。7.如申请专利范围第6项之搬运用机械手,上述支持臂(36)藉回旋而接近或离开上述第2齿轮(46)。8.如申请专利范围第6项之搬运用机械手,上述第2齿轮(46)对上述驱动轴(48)固定成同轴状。9.如申请专利范围第6项之搬运用机械手,上述弹簧(64)系牵引弹簧。10.如申请专利范围第6项之搬运用机械手,进一步备有,用以将上述被处理体载置于上述支持部(22)之多数支持垫(26)。图式简单说明:第一图系本发明实施形态之半导体晶片用搬运用机械手之斜视图。第二图系表示前端臂之变形例子之平面图。第三图系表示第一图所示之搬运用机械手配设在基台内之驱动机构之部分截面正面图。第四图系第三图所示之驱动机构之平面图。第五图系第三图所示之驱动机构之部分截面侧面图。第六图系表示第一图所示之搬运用机械手之第1中间臂之内部,系沿第七图之XI-XI线之截面图。第七图系表示包含第六图之XII-XII线之截面之第一图所示搬运用机械手之第1及第2中间臂之侧面图。 |
