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发明名称 Semiconductor manufacture process
摘要 The alignment channels (10A) have sections which are filled with an isolating film and have sections which are above and below the semiconductor surface making alignment easier.
申请公布号 DE19808168(A1) 申请公布日期 1999.03.11
申请号 DE1998108168 申请日期 1998.02.26
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 IWAMATSU, TOSHIAKI, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 H01L21/76;H01L21/027;H01L21/762;H01L21/8242;H01L21/84;H01L23/544;H01L27/108;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762;H01L27/088;H01L21/823 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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