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发明名称 Verfahren zum Ausbilden einer Halbleiterspeichervorrichtung
摘要
申请公布号 DE4445796(C2) 申请公布日期 1999.03.11
申请号 DE19944445796 申请日期 1994.12.21
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD., ICHON, KYOUNGKI-DO, KR 发明人 KIM, JAE KAP, ICHON, KYOUNGKI-DO, KR
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/8242;H01L23/522;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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