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发明名称 Verfahren zur Reinigung von halbleitenden Scheiben
摘要
申请公布号 DE69507567(D1) 申请公布日期 1999.03.11
申请号 DE19956007567 申请日期 1995.10.20
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NAKANO, MASAMI, NISHISHIRAKAWA-GUN, FUKUSHIMA-KEN, JP;UCHIYAMA, ISAO, 10, AZA SHIMONISHIDAIRA, NISHISHIRAKAWA-GUN, FUKUSHIMA-KEN, JP;TAKAMATSU, HIROYUKI, SHIRAKAWA-SHI, FUKUSHIMA-KEN, JP
分类号 B08B3/08;C11D7/02;C11D7/04;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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