| 摘要 |
<p>In der Einrichtung ist auf einer auswechselbaren Grundplatte zentral eine Heizvorrichtung positioniert. Um diese Heizvorrichtung sind planetenartig bewegte Halterungen mit den zu beschichtenden Teilen angeordnet. Die Halterungen sind von koaxialen Blenden umgeben. Die Blenden besitzen Öffnungen, die den Austrittsflächen des von den Zerstäubungsquellen abgestäubten Schichtmaterials entsprechen. Die Blenden sind zueinander radial beweglich und ermöglichen somit in bestimmten Positionierungen zueinander unterschiedliche Prozessschritte, wie Heizen, Ätzen und Beschichten. Die Einrichtung ist zum Aufstäuben von Hartstoffschichten auf Werkzeuge bei Temperaturen von 500 °C bis 800 °C geeignet.</p> |
