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发明名称 Substratträger für Sputtervorrichtung
摘要
申请公布号 DE19707269(C2) 申请公布日期 1999.03.11
申请号 DE19971007269 申请日期 1997.02.24
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MITSUHIRO, KAMEI, TAKAHAGI, IBARAKI, JP;EIJI, SETOYAMA, HITACHI, IBARAKI, JP;SATOSHI, UMEHARA, HITACHIOOTA, IBARAKI, JP;TAKESHI, TANAKA, HITACHI, IBARAKI, JP
分类号 C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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