| 发明名称 |
Reference wafer |
| 摘要 |
Bei einem Kalibrierwafer (W) mit Polymerkügelchen (P) sind die Polymerkügelchen (P) einer Wärmebehandlung in einem Temperaturbereich unterzogen worden, bei dem die Polymerkügelchen zu erweichen beginnen. <IMAGE>
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| 申请公布号 |
EP0901010(A2) |
申请公布日期 |
1999.03.10 |
| 申请号 |
EP19980114222 |
申请日期 |
1998.07.29 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
KURTH, KATHRIN;HORN, MICHAEL;GEYER, STEFAN;GOETHEL, RALF |
| 分类号 |
G01N1/00;G01N1/28;G01N21/93;H01L21/304;H01L21/66;H01L23/544;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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