发明名称
摘要
申请公布号 JP2868007(B1) 申请公布日期 1999.03.10
申请号 JP19970314088 申请日期 1997.11.14
申请人 发明人
分类号 B32B15/01;C04B37/02;C23C18/32;C23C30/00;H01L23/02;H01L23/34;H01L23/373;(IPC1-7):H01L23/34 主分类号 B32B15/01
代理机构 代理人
主权项
地址