| 发明名称 |
Improvements in and relating to micro-mechanical devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0694801(B1) |
申请公布日期 |
1999.03.10 |
| 申请号 |
EP19950111689 |
申请日期 |
1995.07.25 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
KAERIYAMA, TOSHIYUKI |
| 分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;G02B26/08;(IPC1-7):G02B26/08 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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