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发明名称
摘要
申请公布号
JP2870142(B2)
申请公布日期
1999.03.10
申请号
JP19900188868
申请日期
1990.07.17
申请人
NIPPON DENKI KK
发明人
KIDA TOMOYUKI
分类号
H01L21/66;G01B11/24;G06K9/20;G06T7/00;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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