| 发明名称 |
Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2329067(A) |
申请公布日期 |
1999.03.10 |
| 申请号 |
GB19980017491 |
申请日期 |
1995.06.21 |
| 申请人 |
* NIKON CORPORATION |
发明人 |
AKIMITSU * EBIHARA;THOMAS * NOVAK |
| 分类号 |
B23Q1/00;B23Q1/38;B23Q1/58;G03F7/20;G03F7/22;G03F9/00;G05D3/00;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B23Q1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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