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发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS COMPRISING A POSITIONING DEVICE HAVING TWO OBJECT HOLDERS
摘要
申请公布号 EP0900412(A1) 申请公布日期 1999.03.10
申请号 EP19980903239 申请日期 1998.02.27
申请人 ASM LITHOGRAPHY B.V.;ASM LITHOGRAPHY BV 发明人 LOOPSTRA, ERIK, ROELOF;BONNEMA, GERRIT, MAARTEN;VAN DER SCHOOT, HARMEN, KLAAS;VELDHUIS, GERJAN, PETER;KWAN, YIM-BUN, PATRICK
分类号 H01L21/027;B23Q1/62;B23Q11/00;G01B21/00;G03F7/20;G12B5/00;H01L21/68;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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