发明名称 Turbomolecular vacuum pump
摘要
申请公布号 EP0697524(B1) 申请公布日期 1999.03.10
申请号 EP19950401896 申请日期 1995.08.16
申请人 ALCATEL 发明人 PERRILLAT-AMEDE, DENIS;PIERREJEAN, DIDIER;REVERDY, FRANCOIS
分类号 F04D25/06;F04D19/04;(IPC1-7):F04D25/06 主分类号 F04D25/06
代理机构 代理人
主权项
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