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发明名称 METAL WIRING FOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND FORMATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1167762(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19980104427 申请日期 1998.04.15
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 KAN YORU I;KYON SOKU JIN
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
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