| 发明名称 |
COOLING/HEATING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING SOLUTION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1167717(A) |
申请公布日期 |
1999.03.09 |
| 申请号 |
JP19970222507 |
申请日期 |
1997.08.19 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRON KK |
发明人 |
SHIMIZU KENJI;KOBAYASHI YASUTADA;MORI ISAKATA |
| 分类号 |
F16L19/03;F28F3/08;F28F3/12;F28F21/02;F28F21/06;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
F16L19/03 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
