发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1168054(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970216233 申请日期 1997.08.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKAKU ATSUSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/08;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/08;H01L21/824 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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