发明名称 FORMATION METHOD FOR ELEMENT ISOLATION BODY
摘要
申请公布号 JPH1167891(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970228679 申请日期 1997.08.26
申请人 SONY CORP 发明人 YAMAZAKI TAKESHI
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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