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发明名称 HEAT TREATMENT
摘要
申请公布号 JPH1167782(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970244740 申请日期 1997.08.26
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 TSUNODA TAKESHI
分类号 H01L21/336;H01L21/324;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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